Hören Sie auf, mit Ihren Bio-Sensoren zu „wetten“! Beim Herstellen von Bio-Sensoren muss das thermische Profil perfekt sein – es gibt keinen Platz...

Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird In einer Wafer-Fabrik reicht es nicht aus, einfach die Leistung zu erhöhen. Wenn man einfach nur...

Warum wir Infrarotbehandlung in Reinräumen nutzen Wenn Sie in einer Halbleiterfabrik arbeiten, wissen Sie, welche Herausforderungen dabei entstehen....

Wie man die Infrarot-Trocknung bei bleifreien Halbleitern richtig einsetzt Kommen wir auf das Trocknen von Halbleitern zu sprechen. Heutzutage gelten...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum Goldreflektoren tatsächlich funktionieren Wenn man eine Halbleiterfabrik aufrüstet, ist der erste...

Wie man die Trocknung von Wafern richtig durchführt: Es kommt auf den Reflektor an Die meisten von uns verwenden Infrarotstrahlung zur Trocknung von...

Die Heizung der Schutzhülle – ohne Chaos Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 oder in einer verschlossenen Schutzhülle arbeiten, kennen Sie...

Wie man verhindert, dass die Bio-Sensor-Lampen durch Kurzschlüsse zerstört werden Beim Herstellen von Bio-Sensoren ist es entscheidend, die richtige...

Warum Gold für Ihre Vakuum-IR-Heizer unverzichtbar ist Wenn Sie Siliziumwafers im Vakuum erhitzen, haben Sie wahrscheinlich bemerkt, dass die...

Wie man die Aushärtung ohne Blei mithilfe von Infrarotwellen richtig gestaltet Falls Sie mit Waferwerkzeugen arbeiten und den strengen Anforderungen...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotstrahlung in Halbleiterfertigungsanlagen Standardmäßige...

Hören Sie auf, auf die Wärmequellen in Ihren Heizsystemen zu warten – es gibt bessere Möglichkeiten, mit den thermischen Belastungen umzugehen. Falls...

Verhindern Sie, dass Ihre Gerätekabinen überhitzen Die meisten Heizelemente sind ziemlich unpräzise in der Wärmeabgabe – sie strahlen Wärme in alle...

Warum wir auf Infrarotheizung für die Herstellung von Wasserstoffsensoren umgestiegen sind Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren ist die...

Kohlenstoffreduzierung bei der Herstellung von Halbleitern – ohne die Ausrüstung zu beschädigen Bei den Spülvorgängen in der Halbleiterherstellung...

Ihre Geräte sauber halten: Die Wahrheit über das Heizen Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich dieses Problem. Schon...

Warum wir Infrarot-Härtung in Reinräumen verwenden Wenn man in einer Halbleiterfabrik arbeitet, ist „Reinheit“ nicht nur ein Ziel – sie ist sogar das...

Hören Sie auf, die Wände Ihrer Maschine zu verbrennen – eine bessere Methode zur Nutzung der Infrarotwärme Das Problem mit herkömmlichen...

Wie man die Halbleiterwafer sauber hält – und die Ausbeute hoch erhält Wenn man Halbleiterwafer erhitzt, ist die Temperatur nur die halbe Miete. Das...

Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Produktivität beeinträchtigen! In einer Fabrik mit hohem Arbeitsaufkommen ist ein defekter...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine intelligente Methode zur Handhabung von Infrarotemittern Beim Bearbeiten von Halbleiterwafern ist der...

Warum wir die herkömmlichen Widerstandsheizungen durch Infrarotheizungen ersetzen Wenn Sie eine intelligente Fertigungseinrichtung planen, haben Sie...

Korrekte Trocknung ohne Blei – mit Infrarotstrahlung Die Branche bemüht sich stark um „grüne“ sowie bleifreie Standards für die Trocknung von...

Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten Wenn Sie in einer Umgebung der Klasse 100 arbeiten, stellt die Hitze ein großes Problem dar. Es...

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer-Qualität ruinieren! Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses...

Hören Sie auf, Ihre Geräte zu überhitzen – es gibt eine bessere Methode zur Herstellung von Carbonnanoröhren. Wenn Sie bereits mit der Herstellung...

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der...

Verhindern, dass etwas explodiert: IR-Trocknung in der Fertigung Wenn man Wafer oder Substrate in einer Fertigungsanlage trocknet, kennt man das...

Sicherheit gewährleisten: Kohlenstofffaserverbund-IR-Lampen in explosionsgefährdeten Bereichen Seien wir ehrlich: Die Kombination von...

MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme Wenn man MEMS-Sensorwafer trocknet, spielt man im Grunde ein Spiel mit hohen Risiken – man muss dafür sorgen,...

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizsysteme Ihre Produktivität ruinieren. Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie...

Sicherheit in gefährlichen Reinräumen Kommen wir auf die Reinräume zu sprechen – genauer gesagt auf solche, in denen die Luft mit flüchtigen...

UHP-Infrarotheizer: Präzise Wärme – entwickelt für Halbleiterfertigungsanlagen Wir haben den UHP-Infrarothalogenheizer speziell für ein bestimmtes...

Ersatzfilamente für Fab-Lampen: Konzipiert dafür, den Betrieb aufrechtzuerhalten Kommen wir auf die Fab-Lampen zu sprechen. Es handelt sich dabei...

Einführung Wir haben diese Infrarotlampe für einen bestimmten Zweck entwickelt – nämlich für den Einsatz im Photoresist-Prozess. Es handelt sich um...

Bei der Herstellung von Wafern hat die thermische Drift nicht nur Auswirkungen auf die Diagramme – sie verringert auch den Ertrag. Eine...

Bei der Prozesssteuerung ist das Verbleiben von Flussmittelrückständen kein kosmetisches Problem – es handelt sich dabei vielmehr um ein Problem, das...

Bei der 300-mm-Produktionslinie reicht bereits eine leichte Veränderung der Temperatur – auch nur um ein winziges Grad – aus, damit die Kontrolle der...

Auf der Lithografieebene kann schon eine leichte Temperaturabweichung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Abmessungen zu verfälschen...

In den Fertigungshallen ist die Aushärtung des Polyimides keine weitere thermische Bearbeitungsschritt – vielmehr handelt es sich dabei um einen...

In der Fertigungsstätte reicht bereits ein einziger Mikrometer Feuchtigkeit auf der Trennfilmoberfläche aus, um die Zellen zu verschleißen und ganze...

In der EUV-Lithografie ist die Erwärmung des Photoresists keine bloße Nebenbeschäftigung – sie ist vielmehr entscheidend für die Qualität der...

In der Fertigungshalle ist das Trocknen des Photoresists weder ein einfacher Schritt noch etwas Unbedeutendes – es handelt sich dabei um einen...

Auf der Fertigungsfläche kann bereits eine Abweichung von einem Grad bei der Erwärmung des Photoresists dazu führen, dass die Linienbreiten so stark...

In der Fertigung hängt die Qualität der Produkte von den Temperaturen ab. Eine Abweichung der Back-Temperatur führt dazu, dass die Linienbreiten...

Auf der Lithografieebene ist der Abstand zwischen der Lampe und dem Wafer keine unbedeutende Größe – es handelt sich dabei um einen Parameter, den...

Auf dem Fertigungsboden reicht ein Temperaturanstieg von 0,5 °C während der Aktivierung des Dotiermittels aus, um den Blätterwiderstand aus dem...

Auf dem Fertigungsboden verschiebt eine Drift von 1°C beim Softbake das Photoresist-Profil. Läuft das Hardbake auch nur minimal zu heiß, zeigt sich...

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Photoresist nicht optional – es ist das thermische Budget. Eine Drift von 2°C beim Softbake oder Hardbake...

Out on the line reicht ein Abdriften eines halogenbasierten RTP-Heizers um 0,3°C aus, um Ihr Photoresist-Profil zu beeinträchtigen –...

Auf dem Lithografie-Floor kennt man das: Eine Drift von nur einem halben Grad bei der Backtemperatur und die CD beginnt zu wandern. Ein Partikel, und...