Bei der Prozesssteuerung ist das Verbleiben von Flussmittelrückständen kein kosmetisches Problem – es handelt sich dabei vielmehr um ein Problem, das die Erträge beeinträchtigt. Schon ein einziger kühler Punkt in der Verdampfungszone kann dazu führen, dass das Flussmittel nicht vollständig entfernt wird. Dadurch geraten die Lötperlen aus der richtigen Position, und das Reflow-Profil verändert sich. Wir haben unsere Plattform für die Verdampfung des Flussmittels genau unter Berücksichtigung dieser Realität entwickelt – bei der die thermischen Anforderungen unverhandelbar sind und jedes Wafer wiederholt bearbeitet werden muss.
Was wirklich wichtig ist: Das System verwendet kurzwelliges Infrarotlicht von Quarz-Halogen-Emittern, um die Wafer zu erwärmen. Die geschlossene Regelung sorgt dafür, dass die Temperatur über die gesamte Fläche von 200/300 mm bei ±0,1°C konstant bleibt. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde, sodass die Prozessparameter stets korrekt eingestellt bleiben können. Ein Reinraumstandard von Klasse 1–100 wird durch eine Partikelkontrollierte Architektur gewährleistet: Materialien mit geringer Gasemission, HEPA-Filter sowie glatte Oberflächen ohne Spalten. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ≤0,2% Abweichung vom Setpunkt über 5.000+ Prozessstunden. Zudem integriert die Plattform SECS/GEM zur Erfassung der Prozessparameter auf Linienebene.
Warum das System bei der Waferbearbeitung funktioniert: Die Verdampfung des Flussmittels muss vor dem Aufbringen des Lötzinnens stattfinden – dabei dürfen keine Schichten zurückbleiben, und es darf keine Oxidation stattfinden. Unsere Temperaturstabilität verhindert Risse im Flussmittel sowie Fehler durch kühlere Bereiche. Dadurch wird die Höhe der Lötperlen besser kontrolliert, und die Anzahl der Nachbearbeitungen sinkt. Der Energieverbrauch wird durch pulsierte Steuerung der Emiter sowie zirkulierende Luftströmungen reduziert – dadurch sinken die Kosten pro Wafer, während weiterhin genügend thermischer Spielraum für hohe Produktionsgeschwindigkeiten bleibt. Das Ergebnis: Weniger Ausreißer, vorhersehbare Wartungsfenster sowie konstante Einhaltung der Spezifikationen.
Einige praktische Hinweise: Die Plattform benötigt eine spezielle Stromversorgung mit 208–240 V, drei Phasen sowie eine Druckluftversorgung für den Luftaustauschmodul. Es sollten mindestens 12–16 Zoll Freiraum an allen Seiten vorhanden sein – schließlich ist eine gute thermische Isolation sowie Zugang zur Wartung wichtig. Für die Qualifizierung sollte ein 4-Punkte-Test durchgeführt werden, um die Konstanz des Prozesses zu überprüfen. Nach der Installation ist eine kurze Einlaufphase notwendig, damit die Leistung der Emiter stabilisiert wird und der Regelkreis richtig funktioniert.