Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer-Qualität ruinieren!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem sicherlich. Schon ein winziger Splitter des Beschichtungsmaterials oder ein wenig chemischer Gas, das aus einer Lampe entweicht, kann dazu führen, dass die Qualität der Wafer stark leidet. Das ist frustrierend – man investiert viel Geld in die Einrichtung des Reinraums, nur um dann von einer gewöhnlichen IR-Lampe alles zu ruinieren.
Wir haben eine Lösung gefunden. Wir verwenden nun hochreinen synthetischen Quarz für unsere Leuchten für den Halbleiterbereich. Dadurch entstehen keine Verunreinigungen mehr.
Die Bedeutung der Reinheit
Die meisten Leuchten verwenden billige Klebstoffe oder Dichtstoffe, die bereits bei 600 °C anfangen zu „rauchen“. Genau da entstehen die Verunreinigungen. Wir haben diese Materialien vollständig weggelassen.
Wir verwenden geschmolzenen Siliziumdioxid mit nahezu keinerlei metallischen Verunreinigungen. Das ist wichtig, denn dadurch entsteht kein „Geistereffekt“ – also keine Ausbreitung von Verunreinigungen auf die Oberfläche unter hohen Temperaturen. Unsere Dichtstoffe sind so konstruiert, dass sie der ständigen Erwärmung und Abkühlung standhalten können, ohne zu reißen oder Kohlenstoffpartikel abzusondern.
Wärme genau dort, wo sie benötigt wird
Diese Leuchten strahlen hochintensive Kurzwellenenergie ab. Der Vorteil dabei ist, dass das Substrat selbst erwärmt wird – nicht die Luft im gesamten Raum.
Es geht dabei sehr schnell. Weil die Leuchten so schnell aufhellen, muss das Lüftungssystem nicht übermäßig arbeiten, um der Hitze entgegenzuwirken. Dadurch haben Sie die nötige Präzision, um beispielsweise Wafer zu trocknen oder Photoresisten zu behandeln.
Ein paar Punkte, auf die Sie achten müssen
Hochreiner Quarz ist zwar hervorragend für die Wärmezufuhr, aber er ist auch brüchig. Er kann keinen Schock aushalten.
Falls Ihre Maschine beim Starten oder Stoppen vibriert, kann der Lichtleiter zerbrechen. Stellen Sie sicher, dass die Befestigungselemente gut gedämpft sind. Das ist wirklich wichtig.
Außerdem werden diese Leuchten extrem heiß, um den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlsysteme. Wenn diese nicht richtig dimensioniert sind, können die Lampensockel buchstäblich schmelzen.
Falls Sie Ihre aktuellen Leuchten ersetzen möchten, sind diese Leuchten als Ersatz geeignet. Überprüfen Sie einfach die Länge und die Leistung – dann können Sie sie direkt einsetzen.