Auf der Lithografieebene ist der Abstand zwischen der Lampe und dem Wafer keine unbedeutende Größe – es handelt sich dabei um einen Parameter, den man genau einstellen muss. Ist der Abstand zu gering, kommt es zu einem thermischen Überlastungszustand, zur Ausgasung des Fotolacks sowie zu Problemen durch Partikelentstehung. Ist der Abstand hingegen zu groß, wird die gewünschte Qualität nicht erreicht – es sind längere Bearbeitungszeiten nötig, und die Effizienz nimmt ab. Unsere Heizmodule werden entsprechend diesem Abstand konstruiert; dabei wird dieser Abstand als wichtiger Prozesskontrollfaktor betrachtet.
Wir verwenden kurzwelliges Infrarotlicht mit einer Quarz-Halogenquelle sowie einem emittierenden Element aus Kohlenstofffasern. Dadurch wird eine schnelle thermische Reaktion erzielt, bei gleichzeitig geringer Wärmemasse. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität des Wafers bei ±0,1 °C – die Wiederholgenauigkeit wird durch eine Schleifenmessung am Referenzpunkt der Heizplatte gewährleistet. Die Plattform eignet sich für Sauberkeitsklassen 1–100. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass während des Bearbeitungsprozesses keine Partikel entstehen. Sowohl das sanfte als auch das intensive Heizen erfolgt innerhalb der vorgegebenen Parameter, da die Temperatur stabil bleibt – auch während Türöffnungen und Waferwechseln.
Die Vorteile sind klar: Das Verhalten der kritischen Abmessungen bleibt vorhersehbar, es kommt weniger zu Problemen bei der Bearbeitung, und es müssen weniger Wafers neu bearbeitet werden. Der Energieverbrauch sinkt, da die Quelle nur dann heizt, wenn benötigt wird – es kommt somit zu keinem unnötigen Energieverbrauch. Die Zuverlässigkeit zeigt sich in den Betriebsstatistiken: Unsere Geräte laufen mehr als 5.000 Stunden lang mit weniger als 5 % Leistungsschwankungen – es gibt keine unplanmäßigen Ausfälle aufgrund von Problemen mit dem Heizmodul. Der Ablauf des Produktionsprozesses hängt von der Chemie und der Belichtung ab – nicht von der Erwärmung des Ofens.
Das Modul ist kompakt, doch es ist immer noch ein Abstand für den Luftstrom sowie zur Wartung erforderlich. Planen Sie mindestens 200 mm auf der Einlassseite ein. Die Integration ist einfach möglich, da Standardflansche sowie 24-V-Interlocks verwendet werden. Allerdings muss das Steuerprofil an Ihre speziellen Anforderungen angepasst werden. Die Inbetriebnahme ist kurz – es genügt, die PID-Einstellungen sowie die Emissivitätskompensation anzupassen.