Auf dem Fertigungsboden reicht ein Temperaturanstieg von 0,5 °C während der Aktivierung des Dotiermittels aus, um den Blätterwiderstand aus dem Spezifikationsbereich zu drücken und eine gesamte Charge unbrauchbar zu machen. Wir haben unseren Infrarot-Heizer für die Dotiermittelaktivierung entwickelt, um dieses Risiko auszuschließen.
Was unter der Haube tatsächlich zählt
Wir verwenden kurzwellige Infrarot-Halogenstrahler in einer Quarzbaugruppe, die Energie direkt in den Wafer mit einer Reaktionszeit von weniger als einer Sekunde abgeben. Im Prozessbereich bleibt die Wafer-Ebenheit bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit liegt besser als ±0,2 °C von Charge zu Charge. Die geschlossene Regelung steuert das Temperaturprofil, sodass das thermische Budget eng bleibt - kein Überschießen, kein Nachlauf. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist in das Design integriert: Materialien mit geringer Ausgasung, glatte Oberflächen und ein partikelbewusster Luftstromweg halten die Partikelanzahl innerhalb der Klassen 1–100. Die Leistung bleibt über mehr als 5.000 Stunden stabil mit weniger als 5 % Intensitätsabfall, und der Heizer ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt - geplante Wartungsfenster, keine überraschenden Ausfallzeiten.
Warum das dort funktioniert, wo es zählt
Die Aktivierung des Dotiermittels befindet sich genau an der Schnittstelle zwischen thermischer Präzision und Kontaminationskontrolle. Mit diesem Infrarot-Heizer erhalten Sie eine präzise Aktivierungssteuerung, ohne die Variabilität in den benachbarten Fotolackbackschritten zu stören. Die Profile für das Weich- und Hartbacken bleiben wiederholbar, da das thermische Feld stabil und vorhersehbar ist. Der Nutzen sind höhere Ausbeuten, weniger Nachbearbeitungen und zuverlässige Zykluszeiten. Und da der Anstieg bis zur Haltezeit schnell ist und die Standby-Verluste minimal sind, reduzieren Sie den Energieverbrauch und senken die Kosten pro Wafer, ohne die Spezifikationen zu gefährden.
Was Sie planen müssen
Die Installation hängt von passenden thermischen Schnittstellen und einer stabilen Netzspannung ab. Wenn die Spannungsschwankungen ±1 % überschreiten, beginnt die Temperaturregelung abzudriften, es sei denn, die Versorgung ist stabilisiert. Der Heizer passt in die Standardgeräteabmessungen, aber die Integration muss die Luftstromrichtung im Reinraum respektieren und den Abstand zu empfindlichen Optiken einhalten. Planen Sie einen kurzen Inbetriebnahme-Lauf ein, um Ihr Rezept zu fixieren und die Gleichmäßigkeitskarten über Ihr Produktmix zu überprüfen.