Bei der Herstellung von Wafern hat die thermische Drift nicht nur Auswirkungen auf die Diagramme – sie verringert auch den Ertrag. Eine Temperaturschwankung von 2 °C während des Weichbrennvorgangs des Photoresists kann dazu führen, dass alle Ergebnisse der Lithografie-Prozesse zunichte gemacht werden. Ein kühler Punkt während des Trocknungsprozesses? Dann entstehen Streifen und Partikel, die wie Klebstoff haften bleiben. Infrarotheizung bekämpft diese Probleme effektiv.
Was technisch wichtig ist:
Infrarotstrahlung bringt die Energie genau dorthin und zu dem Zeitpunkt, an dem sie benötigt wird – ohne dass der Behälter dadurch zu einem heißen Raum wird. Unsere NIR-Emitter treffen das Substrat schnell, sodass eine Temperaturstabilität von ±0,1 °C über den gesamten Wafer hinweg gewährleistet werden kann. Auch in Reinräumen der Klassen 1–100 ist dies möglich, da die Hardware aus Materialien hergestellt wird, die wenig Gase abgeben und keine Partikel freisetzen. Die Profile des Photoresist-Brennvorgangs sind reproduzierbar, und das System ist dafür konzipiert, 24/7 zu arbeiten – mit geplanten Wartungsintervallen, die die Produktionsabläufe nicht stören.
Warum das funktioniert:
Beim Trocknen der Wafer entfernt die Infrarotstrahlung die Oberflächenfeuchtigkeit, ohne dass es zu thermischen Überschreitungen kommt – somit entstehen keine Defekte. Bei der Lithografie sorgen die Weich- und Hartbrennvorgänge für gleichmäßige Abmessungen, da der thermische Zustand konstant bleibt – von Schuss zu Schuss, von Tag zu Tag. Beim Verpacken erfolgt die Aushärtung schneller und mit weniger Energieverbrauch. Bei der Reinigung und Trocknung verdampfen die Rückstände sauber, was die Notwendigkeit von Nacharbeiten reduziert. Das Ergebnis sind weniger Ausschusswafer, eine stabile Prozessqualität sowie eine zuverlässige Produktionsleistung.
Was man auf die harte Tour lernt:
Infrarotstrahlung funktioniert nur dann gut, wenn die Sichtlinie frei ist. Schatten durch Halterungen oder andere Elemente können lokale Kälzonen verursachen – daher müssen die Integration der Geräte sowie die Platzierung der Emitter bereits im Voraus berücksichtigt werden. Stellen Sie sicher, dass der thermische Zustand mit Ihren vorhandenen Prozessvorgaben übereinstimmt – und prüfen Sie außerdem, wie sich die Emittivität auf Ihre Materialien auswirkt. Wenn alles richtig eingestellt ist, erzielen Sie wiederholbare Ergebnisse bei geringeren Betriebskosten – ohne dass die Produktionszeit beeinträchtigt wird.