In der Fertigungsstätte reicht bereits ein einziger Mikrometer Feuchtigkeit auf der Trennfilmoberfläche aus, um die Zellen zu verschleißen und ganze Stromspeicher unbrauchbar zu machen. Es wird dabei mit einer Sauberkeitsklasse von 100 gearbeitet – der thermische Prozess muss daher wiederholbar sein, wie es bei präzisen Messverfahren üblich ist. Herkömmliche Öfen sind nicht präzise genug; die Backparameter ändern sich ständig, und die Anzahl der Partikel nimmt zu. Das ist ein Risiko, das man nicht in Kauf nehmen kann.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben einen Trockner für Trennfilme entwickelt, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie entspricht: Die Temperatur muss über die gesamte Fläche des Films innerhalb von ±0,1°C konstant bleiben. Zudem wird eine NIR-Heizung verwendet, die eine schnelle Entwässerung ohne Schädigung der Polymeroberfläche ermöglicht. Der Trockner ist für Sauberkeitsklassen von 1 bis 100 geeignet – die Innenflächen sind poliert und die verwendeten Materialien haben eine geringe Ausgasung, sodass keine Partikel entstehen. Die Steuerung sorgt für wiederholbare Verdunstungsraten sowie stabile Filmbreiten. Der Trockner kann 24/7 betrieben werden, und die präzise Wartung verhindert ungeplante Stillstände, während die Zykluszeiten konstant bleiben.
Warum das in der Praxis funktioniert:
Es ist nicht notwendig, besondere Anstrengungen zu unternehmen – es geht vielmehr um Wiederholbarkeit. Dieser Trockner sorgt dafür, dass sowohl das sanfte Trocknen als auch das endgültige Trocknen jedes Mal gleich ablaufen. Eine höhere Konstanz der Temperaturen reduziert Fehler an den Rändern des Films, erhöht die Ausbeute und verkürzt die Zeit bis zum Einsatz des Films. Der Energieverbrauch sinkt, da die NIR-Heizung den Film direkt erwärmt, nicht die gesamte Kammermasse. In Anlagen, die zur Lithografie verwendet werden, führt diese Präzision dazu, dass die kritischen Abmessungen stabil bleiben und Fehler minimiert werden.
Was man beachten muss:
Für die NIR-Heizung ist eine freie Sichtlinie sowie eine kontrollierte Emittivität erforderlich. Wenn der Film reflektierende Zusätze enthält, ist eine angepasste Lampenanordnung sowie eine spezielle Kalibrierung notwendig. Die Installation in neuen Anlagen ist einfach. Bei Umbauten hingegen sind saubere Strom- und Abluftsysteme sowie eine effektive Strategie zur Beseitigung von Lösungsmitteldämpfen erforderlich. Plane eine kurze Testphase ein, um die heißen Bereiche zu ermitteln und den optimalen Trocknungsprozess festzulegen. Nach der Kalibrierung funktioniert der Trockner genauso zuverlässig wie bei der Trocknung von Wafern.