Auf der Fertigungsfläche kann bereits eine Abweichung von einem Grad bei der Erwärmung des Photoresists dazu führen, dass die Linienbreiten so stark beeinträchtigt werden, dass ganze Chargen als unbrauchbar gelten müssen. Die Heizgeräte in den Chemikalienkabinen dienen nicht nur dem Komfort – sie sind vielmehr Prozessinstrumente, die dafür sorgen, dass die Temperatur auf jedem Wafer konstant bleibt.
Was technisch wichtig ist:
Wir bauen diese Heizgeräte mit Kurzwellinfrarot-Elementen in einer Quarzkapsel. Dadurch wird eine schnelle Reaktionszeit sowie eine effektive Wärmeübertragung erreicht. Das Ziel ist es, eine Temperaturkonstanz auf Waferebene von ±0,1°C zu gewährleisten – und zwar über die gesamte Fläche des Substrats hinweg. Zudem soll die Temperaturstabilität auch dann erhalten bleiben, wenn der Wafer den Arbeitsplatz wechselt.
Die Steuerung sorgt dafür, dass die Einstellungen für die Vor- und Nachbehandlung des Photoresists konstant bleiben. Dadurch bleibt die Aktivierungsenergie von Charge zu Charge gleich. Das System ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – mit versiegelten Verbindungen und Materialien, die minimale Partikelbildung verhindern. Keine Partikelbildung ist dabei kein bloßes Versprechen, sondern eine designbedingte Anforderung. Wir überprüfen dies durch kontinuierliche Überwachung.
Warum es funktioniert:
Bei der Lithografie sind enge Toleranzen erforderlich – und die Photoresist-Prozesse benötigen präzise Temperaturen während der Behandlung. Diese Heizgeräte stabilisieren die Temperatur des Photoresists sowie der Haftvermittler, wodurch die Schwankungen der Linienbreite verringert werden und somit die Produktivität gesteigert wird. Die schnelle Reaktionszeit verkürzt außerdem die Behandlungszeiten, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Dadurch sinkt der Energieverbrauch, da die Wärme nur dann bereitgestellt wird, wenn sie benötigt wird – anstatt ständig im Standby-Modus zu verbleiben. Die Zuverlässigkeit wird durch 24/7-Betrieb gewährleistet – wobei nur solche Komponenten verwendet werden, die keine Abweichungen verursachen und unplanmäßige Stillstände vermeiden.
Was man berücksichtigen sollte:
Bei der Installation muss die Größe der Chemikalienkabine sowie die Anordnung der Lüftungssysteme an die Luftströmungen und Vibrationen in der Fertigungsanlage angepasst werden. Einige Chemikalien benötigen zudem eine bestimmte Kompatibilität mit den Heizflächen und Dichtungen – daher legen wir die verwendeten Materialien fest und stellen eine Kompatibilitätsmatrix zur Verfügung. Die Inbetriebnahme erfolgt schnell: Man muss lediglich die PID-Schleifen einstellen und die Temperaturverteilung überprüfen. Wenn das erledigt ist, bleibt der Prozess reproduzierbar.