Warum wir die herkömmlichen Widerstandsheizungen durch Infrarotheizungen ersetzen
Wenn Sie eine intelligente Fertigungseinrichtung planen, haben Sie vermutlich schon erkannt, dass die alten Widerstandsheizungen nur ein Hindernis darstellen. Sie sind unflexibel und unpräzise in der Anwendung. Wir haben daher auf effiziente Infrarot-Heizsysteme umgestellt – schließlich passen sie perfekt zu einer digitalen Steuerung. Sie arbeiten kontaktlos, sind präzise und entsprechen somit unseren heutigen Arbeitsweisen.
Das Problem mit der „thermischen Trägheit“
Bei herkömmlichen Heizsystemen ist das Problem: Sie brauchen lange, um warm zu werden – und noch länger, um abzukühlen. In einer Welt, in der eine datengestützte Produktion erforderlich ist, ist diese Verzögerung ein Albtraum.
Infrarotheizungen ändern das. Die Leistung kann in Echtzeit angepasst werden. Der PLC erhält die Sensordaten und passt die Heizleistung sofort an. Es gibt kein Warten mehr. Zudem wird dadurch die Größe des zu beheizenden Bereichs verringert – dadurch wird Energie eingespart.
Die Daten, die man wirklich benötigt
Digitalisierung ist im Grunde nichts anderes als eine elegante Bezeichnung für Steuerung. Wenn man ein Infrarot-System verwendet, kann man genau sehen, wie sich die Wärme auf der Oberfläche des Wafers verteilt. Man kann außerdem den Energieverbrauch für jeden einzelnen Wafer nachverfolgen. Diese Informationen werden direkt in das MES übertragen. Das ist sehr nützlich – man kann so Probleme frühzeitig erkennen und beheben, bevor ganze Chargen verschwendet werden.
Die schwierigen Aspekte (die technischen Realitäten)
Es ist jedoch nicht alles einfach – man kann die Systeme nicht einfach so einsetzen. Hochdichte Infrarotarrays sind zwar schnell, aber sie benötigen viel Energie. Man kann sie nicht einfach in einen alten Elektroschrank stecken und darauf hoffen, dass alles funktioniert. Man muss sicherstellen, dass die Stromversorgung die schnellen Schaltvorgänge der PWM-Controller bewältigen kann.
Achtung auch auf die Kühlung: Wenn das System nicht für die reflektierte Strahlung ausgelegt ist, kann die Wärme in die elektronischen Komponenten eindringen – das führt dann zu Problemen.
Letztendlich geht es um Physik: Schnellere Reaktion, weniger Verschwendung und eine direkte Verbindung zu den digitalen Tools. Deshalb wird Infrarot zur bevorzugten Technologie für die nächste Generation der Waferverarbeitung.