Bei der 300-mm-Produktionslinie reicht bereits eine leichte Veränderung der Temperatur – auch nur um ein winziges Grad – aus, damit die Kontrolle der kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet werden kann. Der Heiz element muss daher stets sauber bleiben und die vorgegebene Temperatur konstant halten – und das von Charge zu Charge.
Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden hochreinen Quarz zur Herstellung des Heizelements, um Ausgasungen sowie metallische Verunreinigungen so weit wie möglich zu minimieren. Das Quarzkörper ist so gestaltet, dass er eine schnelle und stabile Reaktion bietet sowie eine gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet – dadurch bleibt das Prozessfenster eng begrenzt.
In der Praxis bedeutet das, dass die Temperatur auf der Wafer-Oberfläche bei ±0,1 °C bleibt. Das Heizelement ist für Bereiche mit Reinheitsschutzstufen von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet. Sobald es im Gleichgewicht ist, entstehen keine Partikel mehr. Die Wiederholgenauigkeit ist selbstverständlich gegeben – sie wird durch Kalibrierungsverfahren gewährleistet.
Warum das in der Lithografie und beim Photoresist-Auftragen wichtig ist: In der Lithografie und beim Photoresist-Auftragen sorgt die Erhitzung dafür, dass Lösungsmittel verdampfen und der Polymer stabilisiert wird. Mit unserem Quarzheizelement bleibt die Temperatur auf der Wafer-Oberfläche konstant – dadurch können die Erhitzungsprozesse wiederholt durchgeführt werden.
Diese Stabilität führt dazu, dass Abweichungen minimiert werden, Ausschuss reduziert wird und die Produktivität geschützt bleibt. Zudem kann die Anlage 24/7 ohne unplanmäßige Stopps arbeiten – schließlich hält das Heizelement seine Leistung konstant und erzeugt keine Partikel, die Alarmanlagen auslösen könnten. Dadurch wird auch die Effizienz verbessert – dank einer sauberen Wärmeübertragung und minimalen Leerlaufverlusten.
Was Sie vor Ort wissen müssen: Die Installation erfordert eine präzise mechanische Ausrichtung sowie die Überprüfung der elektrischen Kompatibilität mit der Anlagentechnik. Das Heizelement ist empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen – daher muss beim Einbau vermieden werden, dass Mikratscher entstehen. Planen Sie einen kontrollierten Aufwärmvorgang während des ersten Erhitzungsprozesses, damit sich der Quarz ausrichten kann und es zu keinen plötzlichen Partikelentstehungen kommt. Wenn alles richtig eingestellt ist, kann das Heizelement tausende von Stunden lang funktionieren – ohne dass es zu Veränderungen in der Temperatur oder zu Problemen in der Reinheitsklasse kommt.