Verhindern, dass etwas explodiert: IR-Trocknung in der Fertigung
Wenn man Wafer oder Substrate in einer Fertigungsanlage trocknet, kennt man das Problem: Es geht dabei meist um Reinigungsreste, die – um es direkt zu sagen – äußerst entflammbar sind. In einer solchen Umgebung ist eine Standard-IR-Lampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt sogar eine Gefahr dar. Schon ein kleiner Funke oder eine heiße Kontaktstelle kann zu einer Katastrophe führen.
Wir lösen dieses Problem, indem wir auf offene Lampen ganz verzichten. Stattdessen verwenden wir eingehüllte IR-Systeme.
Das Geheimnis liegt in der Abdichtung
Wir legen dem Lampenkopf einfach keinen Deckel auf – das reicht nicht aus. Stattdessen verwenden wir hermetisch abgedichtete Hüllen, meist aus Quarz oder Saphir, die in explosionsgeschützten Gehäusen untergebracht sind. Man kann sich das als physische Barriere zwischen der Wärme und den Dämpfen vorstellen. Dadurch bleiben diese flüchtigen Chemikalien weit entfernt von den elektrischen Kontakten. Selbst wenn die Lampe ausfällt, sorgt die Abdichtung dafür, dass keine Funken oder überschüssige Wärme in die Kammer gelangen. Das bedeutet einfach mehr Sicherheit.
Umgang mit der Hitze
Hier versagen viele Systeme. Hochleistungs-Lampen werden extrem heiß – und wenn das Gehäuse selbst zur Entzündungsquelle wird, ist alles wieder von vorn los. Um das zu verhindern, verwenden wir Wärmeableitende Legierungen sowie Halterungen, die speziell dafür entwickelt wurden. Dadurch bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört – nämlich am Substrat – während die Außenfläche des Gehäuses kühl genug bleibt, um keinen Brand auszulösen.
Der Kompromiss
Der Nachteil ist, dass durch die Schicht zwischen dem Filament und dem Substrat etwas von der direkten Wärme verloren geht. Man erhält also nicht 100 % der Strahlungsleistung, wie es bei einer einfachen Lampe der Fall wäre. Man muss möglicherweise die Leistung steigern oder die Teile etwas länger der Hitze aussetzen, damit sie richtig trocknen. Doch das ist ein kleiner Preis für einen Prozess, bei dem das Labor nicht in Gefahr gerät.
Stellen Sie sicher, dass Sie die richtigen explosionsgeschützten Leitungen verwenden und die Kalibrierung der Sensoren überprüfen, um die zusätzliche Entfernung auszugleichen. So bleibt der Produktionsprozess reibungslos – ohne dass jemand sich um Brände sorgen muss.