Ihre Geräte sauber halten: Die Wahrheit über das Heizen
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich dieses Problem. Schon ein winziger Staubkorn oder geringe Mengen an Gasen, die von einem billigen Heizgerät ausgestoßen werden, können dazu führen, dass Ihre Wafer zerstört werden. Dadurch sinkt die Produktivität. Das ist frustrierend – und außerdem teuer.
Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen.
Warum Quarz?
Die meisten Heizgeräte mit Metallhülle zerfallen irgendwann oder oxidieren. Sie geben dabei Partikel ab. Wir nutzen hingegen geschmolzenen Siliziumquarz mit hohem OH-Gehalt – dieser zerfällt nicht und gibt keine organischen Verbindungen ab, selbst wenn es heiß wird. Zudem wird die Wärme durch Kurzwellenstrahlung übertragen. Dadurch wird direkt auf das Substrat geheizt. Da die Luft um das Substrat herum nicht erhitzt wird, entstehen keine störenden Konvektionsströmungen, die Staub vom Boden aufwirbeln könnten. So bleibt alles sauberer.
Der Kompromiss bei der Leistung
Wenn man die gewünschten Temperaturen in wenigen Sekunden erreichen möchte, braucht man Lampen mit hoher Leistungsdichte. Doch das hat auch seine Nachteile: Wenn zu viel Leistung in einen kleinen Raum eingebracht wird, entsteht eine starke lokale Hitze. Wenn die Kühlfans und Wärmeableiter nicht richtig eingestellt sind, können die Enden der Lampe durch die thermische Belastung beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Sicherer Betrieb
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Niemand möchte, dass seine Produktionslinie stundenlang stillsteht. Deshalb sorgen wir dafür, dass die Verbindungen fest sind und den Vibrationen standhalten können. Dadurch wird verhindert, dass es zu Störungen kommt – egal ob man im Vakuum oder in einer kontrollierten Luftumgebung arbeitet.
Ein Tipp: Halten Sie die Stromversorgung stabil. Stromspitzen sind die schnellste Möglichkeit, um die Glühfäden der Lampe zu zerstören.
Achtung!
Diese Lampen sind nicht unzerbrechlich. Quarz ist brüchig. Wenn ein Techniker beim Einbau unvorsichtig ist und eine winzige Rissbildung verursacht, kann die Lampe bereits bei Erreichen der Betriebstemperatur zerbrechen. Das ist eine schade Art, eine Lampe zu verschwenden.
Und bitte: Nutzen Sie immer handschuhe ohne Fasern. Jedes Mal. Wenn Sie Fingerabdrücke auf dem Quarz hinterlassen, brennen die Hautöle in das Glas ein. Das führt zu Hotspots – und bald darauf bricht die Lampe.