Verhindern Sie, dass Ihre Gerätekabinen überhitzen
Die meisten Heizelemente sind ziemlich unpräzise in der Wärmeabgabe – sie strahlen Wärme in alle Richtungen aus, also in 360 Grad. Wenn man in einem engen Halbleiterwerkstattraum arbeitet, ist das ein Problem. Die Innenwände nehmen all diese Wärme auf, und schon bald ist das Gerät gefährlich heiß zum Anfassen.
Wir lösen dieses Problem mithilfe von gerichteter Infrarot-Heizung. Anstatt dass die Wärme in alle Richtungen abgestrahlt wird, lenken wir sie genau dorthin, wo sie benötigt wird – nämlich auf das Substrat. Dadurch bleiben die Wände des Geräts kühl, und die Bediener müssen sich keine Sorgen um Verbrennungen machen.
Wie wir die Wärme tatsächlich weiterleiten
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen mit reflektierender Unterlage. Man kann sich das wie eine Taschenlampe vorstellen – die Energie wird direkt auf das Ziel gerichtet, anstatt in der Luft oder am Maschinenrahmen zu verschwinden.
Es geht dabei sehr schnell. Sehr schnell sogar. Und da man nicht mit der „Überhitzung“ im Inneren des Geräts kämpfen muss, muss die Klimaanlage in dem Raum nicht übermäßig arbeiten, um den Raum atembar zu halten.
Das Problem mit Teflongewinden
Hocheffiziente Infrarotlampen werden extrem heiß. Wenn man Standard-PVC- oder Silikonkabel in der Nähe der Lampe verwendet, schmelzen diese. Es ist nur eine Frage der Zeit, bis die Isolierung versagt und es zu einem Kurzschluss kommt.
Deshalb verwenden wir Kabel mit Teflonbeschichtung. Diese können die Hitze aushalten, ohne Kapazitäten zu verlieren.
Ein kleiner Tipp: Achten Sie auf die Stärke der Kabel. Wenn Sie, um Platz zu sparen, zu dünnes Kabel verwenden, entsteht ein Spannungsabfall. Das beeinträchtigt die Genauigkeit der Arbeit – und in diesem Bereich ist Genauigkeit alles.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Gerichtete Heizung erfordert Präzision. Wenn die Lampe nur wenige Millimeter vom Ziel entfernt ist, entstehen kühle Stellen auf dem Wafer. Das ist frustrierend. Um das zu vermeiden, sollten die Befestigungselemente fest verschlossen sein, damit nichts verrutscht.
Außerdem: Teflon ist zwar robust, aber härter als Silikon. Versuchen Sie nicht, es in enge Ecken zu zwängen. Geben Sie ihm einen größeren Biegeradius in diesen engen Räumen – sonst wird zu viel Druck auf die Anschlüsse ausgeübt.