In der Fertigungshalle ist das Trocknen des Photoresists weder ein einfacher Schritt noch etwas Unbedeutendes – es handelt sich dabei um einen entscheidenden Prozessschritt. Eine Abweichung von 1°C während der Verarbeitung des Photoresists reicht aus, um zu Fehlern zu führen und ganze Produktchargen unbrauchbar zu machen. Deshalb haben wir den Digitalen Infrarot-Trocknungscontroller entwickelt, um dieses thermische Risiko zu beseitigen.
Was technisch wichtig ist:
Der Controller verwendet einen Kreislauf-Sensor mit Infrarotstrahlung sowie einen schnell reagierenden Strahler, um die gewünschte Temperatur mit einer Genauigkeit von ±0,1°C auf der gesamten Oberfläche des Wafer zu halten. Dadurch werden reproduzierbare Trockenungsprofile für den Photoresist erzielt. Zudem sorgt die Steuerung dafür, dass die Verdunstungsgeschwindigkeit des Lösungsmittels konstant bleibt – ohne dass es zu Problemen kommt.
Der Controller ist für Reinräume geeignet: Er ist kompatibel mit Klasse 1–100, erzeugt keine Partikel und weist eine geringe Ausgasung auf. Das System kann 24/7 betrieben werden, ohne Unterbrechungen – und seine Lebensdauer beträgt mehr als 50.000 Stunden.
Warum es in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie und bei der Verarbeitung von Photoresist hängt die Qualität der Produkte von der Kontrolle der Temperatur ab. Der Controller stabilisiert die Temperatur genau dort, wo sie wichtig ist – also auf dem Wafer. Dadurch wird die Kontrolle der kritischen Abmessungen vorhersagbar, anstatt reaktiv zu sein.
Durch die Reproduzierbarkeit verkürzen sich die Qualifizierungszyklen und es kommt weniger zur Umarbeitung. Zudem senkt die Energieeffizienz die Kosten pro Charge. Das Ergebnis sind konstante Trockenungsprofile, weniger unbrauchbare Produktchargen sowie eine zuverlässige Leistung – ohne dass man ständig mit Abweichungen kämpfen muss.
Die Details, die dazu führen:
Die Installation ist einfach – doch die thermische Kopplung ist entscheidend. Der Strahler muss so montiert werden, dass er zur Geometrie des Waferhalterings sowie zur Strahlungsleistung des Trägers passt. Andernfalls entstehen Probleme aufgrund von Reflexionen und thermischem Verzug.
Planen Sie die Verkabelung und das Erdungssystem entsprechend den Anforderungen Ihrer Ausrüstung. Stellen Sie außerdem sicher, dass die Profile des Controllers mit Ihren Rezepten für die Trocknung des Photoresists übereinstimmen. Wenn all diese Details richtig gestaltet sind, funktioniert der Controller Tag für Tag, Schicht für Schicht.