必要な場所に正確に熱を送る方法
ウェーハ製造ラインでは、単に出力を上げるだけでは解決になりません。無闇にエネルギーを使っても、結局はエネルギーの無駄遣いに過ぎません。重要なのは、どうやってその光子をコントロールするかということです。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた石英のシールドを使用します。これは、熱が機械の内部に漏れ出るのを防ぎ、再びウェーハに戻されるような役割を果たします。 なぜ金なのか？ 普通の石英では、赤外線があらゆる方向に散逸してしまいます。しかし、薄い金の層を加えることで、熱が通り抜けない壁ができます。銀やアルミニウムよりも、金の方が赤外線を反射する能力が高いからです。 これにより、電力が効率的に目的の場所に届きます。 熱対策 そして、ただのガラスを使ってはいけません。高純度の石英を使用するのは、それが耐久性に優れているからです。製造ラインのランプのスイッチを入れると、温度が急激に上昇します。ほとんどの材料はこのような負荷に耐えられませんが、石英はそれに耐えられます。 金のコーティングは真空蒸着によって施されるため、しっかりと固定されます。もし加熱中にそのコーティングが剥がれたり、はがれたりしたら、問題が発生します。焦点がずれ、ウェーハの温度が下がり、結果として工程が失敗に終わってしまいます。 トレードオフ 良い点は、シールドが熱を効率的に反射するため、必要な温度を得るためにランプを最大出力で動かす必要がないということです。これはタングステンフィラメントにとって大きな利点であり、フィラメントの寿命も長くなります。 しかし、注意点もあります。これらのシールドを常に清潔に保つ必要があります。 本当にです。金の表面に指紋や化学物質の汚れが1つでもあると、加熱開始直後に問題が発生します。それによって「ホットスポット」が生じ、ウェーハが破壊されてしまいます。 自分を助けるためにも、取り付ける前に高純度のIPAでしっかりと洗浄してください。数分余計にかかりますが、後で大変な事態を避けることができます。