エアヒーターに頼るのをやめよう：熱負荷を効率的に処理する新しい方法
もし、依然として半導体の精密加工において熱風循環に頼っているのであれば、その手間がどれほど大変かご存知でしょう。システムを起動し、空気が温まるのを待ち、さらにその空気が部品に熱を伝えるのを再び待つ必要があります。
これは非効率的で、時間の無駄です。
なぜ「空気」が足かせになるのか
考えてみてください。強制送風は、エネルギーを中継者を通じて移動させるだけです。つまり、空気を加熱し、その空気が部品を加熱するのです。
一方、赤外線は中継者を一切省略します。赤外線は放射エネルギーであり、光速で対象物に届きます。オーブンの内部全体を加熱する代わりに、必要な場所に直接熱を与えることができます。
その結果、起動時間はほぼ瞬時になります。扱う材料によっては、サイクルタイムを40％から70％も短縮できます。大量生産の場合、この短縮された時間は、日々の生産性向上に大きく貢献します。
実際のコストとメリット
良い点は、これらのランプを調整できることです。ウェーハやポリマーに適した波長を選ぶことで、必要な場所に正確に熱を与えることができます。そうすれば、クリーンルーム全体がサウナ状態になることもありません。
しかし、注意が必要です。赤外線は非常に集中したエネルギーを持つため、局所的に高温が発生します。取り付けブラケットや配線をしっかり確認しないまま使用すると、コネクタが溶けてしまう可能性があります。また、ハウジングの冷却策もしっかりと行わないと、校正値がずれてしまいます。
切り替える方法
良いニュースは、空気式から赤外線式に切り替えるのは比較的簡単だということです。大きなファンや配管を取り除けば、作業スペースが大幅に広がります。私は、クリーンルームでは常にクォーツ製のケースを使用することを推奨します。これにより、汚れが付着するのを防ぎ、粒子が飛び散るのも防げます。
一度接続すれば、もう「チャンバーを温める」という手間は不要です。スイッチを入れるだけで、すぐに使用できます。