工具キャビネットの過熱を防ぎましょう ほとんどの加熱要素は、ある程度乱雑な構造になっています。つまり、熱が360度四方に放出されてしまいます。狭い半導体製造装置の中で作業を行う場合、これは大きな問題です。内壁がその熱を吸収してしまい、すぐに装置が触っても危険なほど熱くなってしまいます。 私たちは、...

半導体ウェーハを加熱するとき、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、ほこりです。クラス100のクリーンルームでは、わずかな汚染物質でさえも、一括して製造されたシリコン製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかりますが、実際には避けられる問題です。 そのため、私たちは...

ヘーティング要素がウェーハの歩留まりを悪化させるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。わずかなコーティングの破片や、ランプから漏れ出る化学ガスだけで、ウェーハの歩留まりが低下してしまいます。本当にイライラしますよね。環境整備に多額の費用...

危険なクリーンルームでのエンジニアリング上の安全性 クリーンルームについて話しましょう。具体的には、空気中に揮発性化学物質が多く含まれているような環境のことです。そうした環境では、安全性を軽視するわけにはいきません。ほんの少しの火花でも大惨事を引き起こす可能性があります。だからこそ、私たちはそのよ...