必要な場所に正確に熱を送る方法 ウェーハ製造ラインでは、単に出力を上げるだけでは解決になりません。無闇にエネルギーを使っても、結局はエネルギーの無駄遣いに過ぎません。重要なのは、どうやってその光子をコントロールするかということです。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた石英のシールドを使用し...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金製の反射体が効果的なのか 半導体製造ラインを更新するとき、一般的には出力を上げることが考えられます。しかし実際には、ウェーハに熱を与えるために重要なのは、どれだけの電力を供給するかではなく、その電力が実際にどこに向かうかです。 通常の石英ランプは、エネルギーをあらゆる...

ファブを清潔に保つために：ヒーティングの真実 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんのわずかなほこりや、安価なヒーターから発生するガスがあれば、ウェーハがダメになってしまいます。その結果、生産効率も低下します。本当にイライラするし、費用もかかります。...

ランプの破損によって生産効率が低下するのを防ごう 高負荷の製造環境では、ランプが破損するのは単なる迷惑事にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破損すると、単に機能しなくなるだけでなく、シリコンにガラスの破片や粒子が飛び散ります。一度破損すれば、大量の製品が廃棄されてしまいます。これは時...

赤外線を利用して無鉛での硬化処理を正しく行う方法 業界では、半導体の乾燥処理において「グリーン」かつ無鉛の基準を実現しようと努力しています。正直、そろそろその時が来ています。私たちは赤外線を利用して硬化処理を行っています。これにより、従来のオーブンでよく使われる有害な化学溶剤や重金属触媒を使わずに...

爆発を防ぐために：ファブ内でのIR乾燥装置の利用 もし、ファブ内でウェーハや基板を乾燥させているのであれば、その手間はよくわかるでしょう。一般的には、言ってみれば非常に燃焼しやすい汚染物質を取り除く必要があります。このような環境では、通常のIRランプは単なる工具ではなく、むしろ危険な存在です。わず...

安全を確保する：不安定な環境でのカーボンファイバー製IRランプの使用 正直に言って、高熱を発生させるランプと可燃性の化学薬品を一緒に使うのは、とても危険なことです。清掃作業を行っている時に、火花が発生して工場全体が災害地帯に変わってしまうのは避けたいものです。 だからこそ、私たちは単にこれらのラン...

ファブラボ用の交換フィラメント：生産を止めないために設計されています ファブラボ用のランプについて話しましょう。これは単なる加熱要素ではありません。半導体製造現場の過酷な環境に耐えられるように設計された精密なツールです。もしこのランプが壊れてしまうと、生産ライン全体が停止してしまいます。 そのため...

ファブ内では、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。それは、寸法精度を保証するための重要な工程であり、温度の安定性と密接に関連しています。もし加熱条件が変わってしまうと、応力が生じ、寸法が不安定になり、結果としてリソグラフィーやその後のパターニング工程に支障が出ます。そうなると、単に一...

製造現場では、電池用セパレーターフィルムにわずか1マイクロメートルの水分が残っているだけで、セルが短絡し、全体の製品が廃棄されてしまいます。クラス100の清浄環境下で作業を行う必要があり、熱処理も再現性が求められます。つまり、単なる推測ではなく、正確な数値に基づいた処理が必要です。通常のオーブンで...

製造現場において、フォトレジストのソフトベイクの際に温度が1度でも変動すると、ライン幅が大きくずれてしまい、多くのワークが廃棄処分されてしまいます。化学薬品用のヒーターは、単なる快適性を向上させるためのものではありません。それらはプロセス制御に不可欠な装置であり、通過する各ウェーハの温度を一定に保...