真空対応赤外線ヒーター

リソグラフィフロアでは、状況はよくわかっています。ベーク温度が0.5℃ずれるだけで、CD（クリティカルディメンション）が変動し始めます。たった一つの異物で、ウェハ以上の損失が発生します。ソフトベークとハードベークを連続で実行し、その後洗浄・乾燥を行いますが、それぞれの工程が熱予算を累積させます。ヒ...