必要な場所に正確に熱を送る方法 ウェーハ製造ラインでは、単に出力を上げるだけでは解決になりません。無闇にエネルギーを使っても、結局はエネルギーの無駄遣いに過ぎません。重要なのは、どうやってその光子をコントロールするかということです。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた石英のシールドを使用し...

300mmラインでは、わずか数度の温度変動でも、その影響でクリティカルディメンションの管理が困難になってしまいます。したがって、ヒーターは常に清潔を保ち、何度繰り返しても一定の温度を維持する必要があります。 実際に重要なのは何か 私たちは、ガス放出や金属汚染をできるだけ抑えるために、高純度の石英を...