ドーパント活性化赤外線ヒーター

ファブフロアでは、ドーパント活性化時の0.5°Cの温度変動がシート抵抗を規格外に押し出し、ロット全体をスクラップにする要因となる。このリスクを排除するために、当社はドーパント活性化用赤外線ヒーターを開発した。 内部で実際に重要なポイント 当社は短波赤外線ハロゲンエミッターを石英アセンブリ内に搭載し...