ファブを清潔に保つために：ヒーティングの真実
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんのわずかなほこりや、安価なヒーターから発生するガスがあれば、ウェーハがダメになってしまいます。その結果、生産効率も低下します。本当にイライラするし、費用もかかります。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
なぜ石英なのか？
実は、金属ケースを持つヒーターは、時間が経つと剥がれたり酸化したりします。そうなると、粒子が放出されてしまいます。一方、高OH含有量の溶融シリカ製の石英は、高温になっても分解したり有機化合物を放出したりしません。
さらに、短波放射によって加熱されるため、熱が直接基板に伝わります。周囲の空気が温められないため、床からほこりが舞い上がるようなこともありません。つまり、より清潔です。
電力の問題
もし、数秒以内に目標温度に到達したいのであれば、高密度のランプが必要です。しかし、デメリットもあります。
小さな空間に多くのワット数を流し込むと、局所的に高温になります。冷却ファンやヒートシンクの設定が適切でなければ、ランプの端が熱ストレスで壊れてしまいます。バランスを取る必要があります。
安定した動作のために
これらのランプは、すぐに交換できるように設計されています。誰も、工場が何時間も停止するのを望みません。そのため、接続部がしっかりしており、振動にも耐えられるようにしています。これにより、真空状態や制御された空気環境下でもアーク発生を防げます。
ちなみに、電源の安定性にも注意してください。電圧の急変は、フィラメントを破壊する最も速い原因です。
注意点
これらのランプは完全に耐久性があるわけではありません。石英はもろいのです。
もし、取り付け時に技術者が不注意で微細なひび割れができてしまったら、ランプはすぐに壊れてしまいます。部品を無駄にするのは本当に残念です。
そして、どうぞ糸くずのない手袋を使ってください。毎回必ず。もし石英に指紋が残ってしまうと、皮脂がガラスに染み込んでしまいます。それにより熱源ができ、やがてチューブが壊れてしまいます。