半導体ウェーハを加熱するとき、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、ほこりです。クラス100のクリーンルームでは、わずかな汚染物質でさえも、一括して製造されたシリコン製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかりますが、実際には避けられる問題です。 そのため、私たちは...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを運用しているのであれば、ガスが漏れ出すという問題がどれほど深刻か、ご存知でしょう。加熱要素からわずかな粒子が放出されただけで、生産した製品は全滅してしまいます。 一般的な赤外線ランプでは、この問題に対処す...