ウェーハの適切な硬化処理を実現するには、反射板が重要です。
私たちの多くは、半導体の乾燥に赤外線を利用しています。これは、化学溶剤や燃焼が不要で、単に電力が熱に変換されるだけだからです。これにより、環境に優しく、鉛フリー規制も問題なく満たすことができます。
しかし、実際には、ランプ自体が注目されがちですが、実際に重要なのは反射板です。
熱の無駄遣いをやめましょう
精密な反射板がない状態で硬化ランプを使用すると、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。
考えてみてください。多くの光子は逆方向に飛んでしまい、何の役にも立ちません。私たちは、その無駄になったエネルギーを再びウェーハに向けて送り返すように反射板を設計しています。
そうすることで、出力を上げることなく、熱流量を高めることができます。また、ウェーハが高温状態に長く置かれることもなくなります。これは非常に重要です。ウェーハが高温状態に長くあるほど、変形したりストレスがかかったりする可能性が高くなります。誰もそれに対処したくはありません。
材料についての詳細
一般的には、高純度のアルミニウムや金メッキされた基板を使用します。なぜかというと、これらの材料は短波および中波の赤外線を効果的に反射できるからです。
金属の種類だけでなく、形状も重要です。私たちは、熱がウェーハに均等に当たるように、放物線形や楕円形の曲線を利用しています。もし曲線が数ミリでもずれてしまうと、熱の集中が起こります。そして、熱の集中は不均一な硬化を引き起こし、結果としてウェーハが破損することになります。
お使いの環境に最適な設定を選びましょう
高反射率の設定の利点は、出力を下げても生産量を維持できることです。そうすれば、エネルギー代も節約できます。
さて、選択肢があります。金メッキされた反射板は性能が最高ですが、柔らかいため、作業環境が荒い場合や、メンテナンスが雑な場合には傷がついてしまいます。
そのような場合は、陽極酸化処理されたアルミニウムを使用しましょう。効率は少し落ちますが、耐久性は高く、問題なく機能します。
最後に、冷却ファンが集中した熱に対応できるか確認してください。エネルギーを節約しようとして、ランプが壊れてしまっては元も子もありません。