ヘーティング要素がウェーハの歩留まりを悪化させるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。わずかなコーティングの破片や、ランプから漏れ出る化学ガスだけで、ウェーハの歩留まりが低下してしまいます。本当にイライラしますよね。環境整備に多額の費用を投じても、普通のIRランプがその成果を台無しにしてしまうのです。
しかし、私たちはその問題を解決する方法を見つけました。半導体向けのランプには、高純度の合成石英を使用しています。そうすれば、コーティングの破片が飛び散ったり、予期しない問題が発生したりすることはありません。
純度の重要性
ほとんどのランプは安価な接着剤やシール材を使用していますが、これらは600℃に達するとすぐに劣化してしまいます。それが汚染の原因です。私たちは、そうした材料を完全に排除しました。
私たちが使用しているのは、金属不純物がほとんど含まれていない溶解石英です。これにより、高温下で不純物が表面に移動するという問題が解消されます。また、私たちのシール材は、繰り返される加熱・冷却にも耐えられ、炭素粒子が飛び出すこともありません。
重要な場所に熱を集中させる
これらのランプは、高強度の短波放射を発します。これにより、チャンバ内の空気ではなく、基板自体を加熱することができます。非常に迅速です。
急激に温度が上昇するため、HVACシステムは余分な負担をかけずに済みます。これにより、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成など、精密な制御が可能になります。
注意すべき点
高純度の石英は加熱には優れていますが、脆いため、衝撃に弱いです。起動や停止時に機械が振動すると、ランプが壊れてしまう可能性があります。必ずマウントブラケットに緩衝材を使用してください。これは非常に重要です。
また、半導体の要件を満たすためには、これらのランプは極めて高温になります。冷却システムをしっかり確認してください。もしサイズが合っていなければ、ランプのソケットが溶けてしまいます。
現在使っているランプを交換したい場合、これらのランプはそのまま交換可能です。長さやワット数を確認すれば大丈夫です。