工具キャビネットの過熱を防ぎましょう
ほとんどの加熱要素は、ある程度乱雑な構造になっています。つまり、熱が360度四方に放出されてしまいます。狭い半導体製造装置の中で作業を行う場合、これは大きな問題です。内壁がその熱を吸収してしまい、すぐに装置が触っても危険なほど熱くなってしまいます。
私たちは、方向性のある赤外線加熱を利用してこの問題を解決します。熱を無駄に散らすのではなく、必要な場所、つまり基板に直接熱を当てます。そうすることで、装置の内壁は冷たく保たれ、作業員も火傷する心配がありません。
熱をどのように移動させるか
私たちは、反射材が付いた短波長の赤外線ランプを使用します。まるで熱を発する懐中電灯のようなものです。エネルギーを前方に向けて送り、空気や機械の枠に無駄になることなく、直接目標に当てます。
非常に速いです。本当に速いのです。
また、工具内部での熱の蓄積が起こらないため、施設の空調システムも余計な負担をかけずに済みます。
テフロン被覆の電線について
高ワット数の赤外線ランプは非常に高温になります。もし通常のPVCやシリコン製の電線をランプの近くに使った場合、それらは溶けてしまいます。絶縁体が破壊され、短絡が起こるのも時間の問題です。
だからこそ、私たちはテフロン（PTFE）で被覆された電線を使用します。これなら、熱に耐えられます。
ひとつアドバイス：電線の太さにも注意してください。スペースを節約するために電線を細くしすぎると、電圧降下が起こります。そうなると、加工の精度が悪くなります。この業界では、精度が何より重要です。
注意すべき点
方向性加熱は精密な作業です。ランプの位置が数ミリでもずれると、ウェーハに冷却部分ができてしまいます。これは困ります。そのため、取り付けブラケットをしっかり固定して、振動が起こらないようにしてください。
また、電線についても注意が必要です。テフロンは強いですが、シリコンよりも硬いので、狭い場所に無理に曲げないでください。狭いキャビネット内では、十分な曲げ半径を持たせてください。そうしないと、端子に過度な負荷がかかります。