半導体ヒーター用熱電対

ヘーティング要素がウェーハの歩留まりを悪化させるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。わずかなコーティングの破片や、ランプから漏れ出る化学ガスだけで、ウェーハの歩留まりが低下してしまいます。本当にイライラしますよね。環境整備に多額の費用...