半導体ウェーハを加熱するとき、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、ほこりです。クラス100のクリーンルームでは、わずかな汚染物質でさえも、一括して製造されたシリコン製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかりますが、実際には避けられる問題です。
そのため、私たちは高純度の合成石英や金のコーティングを使用します。そうすることで、汚染が発生する前に防ぐのです。
なぜ金を使うのか？
一般的な赤外線ランプには、エネルギーが漏れ出すという欠点があります。その熱の多くは、ランプの外壁で反射されたり、無駄になったりします。
これを解決するために、石英に薄い金の層を加えます。これは、赤外線エネルギーだけを反射する鏡のようなものです。そうすることで、熱が直接ウェーハに集中し、必要な場所での熱密度が大幅に上昇します。
また、金は酸化しないという利点もあります。安価なコーティング材は、数百回の加熱処理を経ると剥がれ始めますが、金はそのまま残ります。つまり、金属の粉が生産エリアに入り込んで、作業を台無しにする心配がありません。
材料に関する詳細
私たちが高純度の石英を使用する理由は、高温になっても「ガスが放出されない」からです。この素材を使えば、温度を非常に迅速に上昇させることができ、正確な加熱処理が可能になります。
しかし、注意点もあります。金は熱を効果的に反射するため、ランプの背面は冷たいままで、前面は非常に高温になります。冷却ファンや遮蔽装置が適切に機能していないと、周囲のセンサーアレイが損傷する可能性があります。
安定した動作のために
私たちは、これらのランプを簡単に交換できるように設計しました。カスタムフランジを使用しても、標準的なコネクタを使用しても、しっかりと固定されます。振動や音の発生もありません。
ちょっとしたヒント：電圧を安定させてください。電圧の急変は、フィラメントを破壊する原因になります。電力を安定させておけば、これらのランプは、粒子のない安定した熱源を提供し、製造の効率を維持することができます。