極端紫外線 EUV レジストヒータ部品

リソグラフィーの工程において、EUVレジストの加熱は単なる一連のステップに過ぎないわけではありません。それは、まさに温度制御の重要な要素なのです。わずか半度の温度変動でも、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、たった一つの粒子があれば、ウェハ全体がダメになってしまう可能性があります。レジスト加熱装置...