フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ

はじめに この赤外線ランプは、フォトレジスト処理という特定の用途のために開発されました。これは高強度のハロゲンランプであり、ウェーハや基板上での処理時に迅速かつ正確な熱を供給するよう設計されています。つまり、一貫したフォトレジストの性能を実現するために必要な熱エネルギーを提供し、同時に装置が安定し...