高純度クォーツヒーター

300mmラインでは、わずか数度の温度変動でも、その影響でクリティカルディメンションの管理が困難になってしまいます。したがって、ヒーターは常に清潔を保ち、何度繰り返しても一定の温度を維持する必要があります。 実際に重要なのは何か 私たちは、ガス放出や金属汚染をできるだけ抑えるために、高純度の石英を...