機械の壁を焦がさない方法：IRヒートをより効果的に利用する方法 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。 それらを狭い半導体ケースの中に詰め込むと、まるで金属製の箱の中にエアヒーターを入れているようなものです。そのエネルギーの大部分はウェーハには届かず、ケースの内壁に...

半導体ウェーハを加熱するとき、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、ほこりです。クラス100のクリーンルームでは、わずかな汚染物質でさえも、一括して製造されたシリコン製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかりますが、実際には避けられる問題です。 そのため、私たちは...