将热量精准地传递到需要的地方
在晶圆制造厂中，单纯增加功率并不是解决问题的方法。如果直接用大量能量来解决问题，那只会浪费能源。真正的关键在于如何引导那些光子。
因此，我们使用镀金石英罩。可以把它们看作镜子，它们能阻止热量渗入机器内部，而是让热量反射回到晶圆上。
为什么要用黄金？
普通的石英会让红外辐射向各个方向散射。但一旦在石英表面涂上一层薄薄的黄金，就能形成一道屏障，让热量无法穿透。我们选择黄金，是因为它比银或铝更能有效反射红外光。这样，所有的电能都能被有效地利用起来。
处理热量问题
当然，不能随便使用普通的玻璃材料。我们必须使用高纯度的石英，因为它的耐热性很强。当启动照明设备时，温度会立刻上升。大多数材料在这种高温下都会破裂，但石英则可以承受这种压力。
我们通过真空沉积的方式将黄金固定在石英表面。如果在加热过程中，这层涂层开始剥落或脱落，那就麻烦了。那样一来，焦点就会偏离，晶圆的温度也会下降，整个生产过程就会出故障。
权衡利弊
好的方面是：当这些屏蔽层能够有效反射热量时，就不必用最大的功率来达到所需的温度。这对钨丝来说是个巨大的好处——它的使用寿命会更长。
不过也有缺点。必须确保这些屏蔽层保持绝对干净。哪怕有哪怕一个指纹或化学残留物，都会导致局部过热，进而破坏晶圆。
为了自己着想，请在安装之前用高纯度的异丙醇把所有部件擦干净。虽然这需要多花点时间，但这样可以避免后续的麻烦。