法布化学柜加热器

在芯片制造车间里，哪怕光刻胶的软化处理温度偏差仅1度，也足以导致线条宽度出现偏差，进而造成大量产品报废。化学处理柜中的加热器并非仅仅用于提高操作舒适度，实际上它们是重要的工艺设备，能够确保每块经过处理的晶圆的温度保持稳定。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计的这些加热器采用石英外壳包裹短波红...