洁净室烤箱红外加热器

为何在洁净室中使用红外固化技术？ 如果您在半导体制造厂工作，就应该明白其中的难点。需要将晶圆烘干，但又不能让任何灰尘附着在晶圆上。因此，我们选择使用红外加热技术。与用热风加热相比，红外加热不会产生颗粒物，因为它是通过电磁辐射来传递能量的。能量直接作用于晶圆上，没有强制对流，也不会有碎片飞溅的问题，...