停止浪费热量：为何金制反射器如此有效 在升级半导体制造设备时，人们通常会倾向于增加功率。但实际上，让热量传递到晶圆上并不取决于投入的功率大小，而在于这些能量最终被应用在了何处。 普通的石英灯的散热效果很差，它们会将能量向各个方向散射出去。这意味着，一半的电能都被用于加热机器外壳，而非晶圆本身，这无...

在生产车间，软烘烤温度的1°C漂移会导致光刻胶的轮廓发生变化。如果硬烘烤温度稍微过高，开发后会出现污点。功率器件硅片具有宽大硅片和严格的热预算，因此任何温度不均匀性都会表现为边缘珠、CD控制不精确和无法忽视的良率损失。 实际重要的内容 我们围绕短波红外发射器在石英中构建功率器件硅片加热器——响应快...