数字式红外线干燥机控制器

在芯片制造过程中，无论采用软烘还是硬烘工艺，这都并非简单的步骤而已。实际上，这是一种关键的工艺控制环节。在光刻胶处理过程中，哪怕温度出现1°C的波动，都可能导致线宽发生变化，进而引发缺陷，甚至让整批产品报废。我们设计了数字红外干燥控制器，就是为了消除这种温度风险。 技术上最重要的点 该控制器采用了...