停止浪费热量：为何金制反射器如此有效
在升级半导体制造设备时，人们通常会倾向于增加功率。但实际上，让热量传递到晶圆上并不取决于投入的功率大小，而在于这些能量最终被应用在了何处。
普通的石英灯的散热效果很差，它们会将能量向各个方向散射出去。这意味着，一半的电能都被用于加热机器外壳，而非晶圆本身，这无疑是一种浪费。
这时，金涂层就派上用场了。
反射的魔力
金具有极强的红外光反射能力。通过在反射器或机器外壳上涂覆一层薄而精准的金膜，就能防止能量被机器吸收，而是让能量反射回去。这样一来，更多的光子能够照射到晶圆上。
由于能量被集中了起来，因此无需再使用高功率的灯具即可达到所需的温度。这样，电网的负担也会减轻。
热量管理
我们通常会研究各种材料如何散热。由于金能反射大部分红外光，因此可以将大量热量集中在一个很小的范围内。如此一来，就不需要使用更大、更笨重的灯具了。
不过，这也有一些缺点。因为这些反射器的效率太高了，所以一旦安装位置有细微偏差，就可能导致晶圆上出现局部过热的情况。因此，必须确保安装支架的精度达到亚毫米级，否则就会毁掉整批晶圆。
如何将它们应用到工厂中
最好的一点是，这些金制反射器可以直接替代现有的加热装置。我们无需更换那些可能损坏现有电路的高功率灯具，只需提升反射效率即可。这样，用相同的电流就能让晶圆获得更多热量。
最后一点建议：务必保持金表面的清洁。哪怕只有少量灰尘或氧化物，也会降低反射率，进而影响散热效果。保持表面清洁，才能确保其正常发挥作用。