用于光刻机的石英玻璃护罩

将热量精准地传递到需要的地方 在晶圆制造厂中，单纯增加功率并不是解决问题的方法。如果直接用大量能量来解决问题，那只会浪费能源。真正的关键在于如何引导那些光子。 因此，我们使用镀金石英罩。可以把它们看作镜子，它们能阻止热量渗入机器内部，而是让热量反射回到晶圆上。 为什么要用黄金？ 普通的石英会让红外...