なぜクリーンルームで赤外線加熱を利用するのか？ 半導体製造現場で働いている人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、そこにほんの少しのほこりでも付着してはいけません。 だからこそ、私たちは赤外線加熱を利用するのです。温風を送って加熱する方法では、結局は微粒子を舞い上げるだけです。一方、赤外線加熱では電磁波を利用します。エネルギーが直接ウェーハに届きます。強制対流もなく、飛散する破片もなく、面倒もありません。
無鉛材料を使用した場合の対処法 無鉛のはんだや接着剤に切り替えるのは、単純なことではありません。これらの材料は融点が高く、加熱時の挙動も異なります。 通常のオーブンを使えば、危険な状況になります。はんだが溶ける前に基板上の材料が壊れてしまう可能性があります。 しかし、赤外線加熱なら違います。コーティングの吸収帯に直接エネルギーを当てることができます。必要な場所にだけエネルギーを集中させることができます。非常に迅速です。オーブン全体を加熱する必要がないので、素早く温度を上昇させることができます。
エネルギーの無駄を減らす 従来のオーブンを考えてみてください。壁や空気、天井を温めるために莫大なエネルギーが消費されます。これは無駄遣いです。 赤外線ランプは、目的の場所に即座に熱を与えます。熱が媒体を通過する必要がないため、処理時間が短縮されます。すべてが速く進行します。 また、電力代も大幅に削減できます。部品が実際に加熱される場所にのみランプを動作させればよいのです。簡単です。
デメリットとその対処法 もちろん、すべてが完璧というわけではありません。高強度の赤外線は大量の熱を発生させます。 冷却システムが不十分だと、問題が発生します。排気システムがその余分な熱を取り除けなければ、オーブンの枠が変形したり、電子機器が損傷したりします。 また、距離も重要です。数ミリのずれでも熱の集中が起こり、ウェーハが焼けてしまうことがあります。厳格な精度が求められますが、それだけの価値はあります。 私たちは、このシステムを、従来の熱処理用オーブンがあった場所に簡単に設置できるように設計しました。これにより、より清潔な環境が得られ、作業効率も向上し、無駄も大幅に減少します。