なぜ、真空状態でシリコンウェーハを加熱する際には金が必須なのか 真空状態でシリコンウェーハを加熱する場合、通常のルールは適用されません。空気がないため、対流による熱の移動はあり得ず、完全に放射に頼るしかありません。 問題は、もし通常の研磨済みのアルミニウムやステンレス鋼製の反射器を使った場合、それ...

リソグラフィフロアでは、状況はよくわかっています。ベーク温度が0.5℃ずれるだけで、CD（クリティカルディメンション）が変動し始めます。たった一つの異物で、ウェハ以上の損失が発生します。ソフトベークとハードベークを連続で実行し、その後洗浄・乾燥を行いますが、それぞれの工程が熱予算を累積させます。ヒ...