生産ラインにおいて、熱によるドリフトは単にグラフ上に現れるだけではありません。実際には、歩留まりを低下させてしまいます。フォトレジストのソフトベイクの際に2℃程度の温度変動があれば、リソグラフィーの精度が台無しになってしまいます。ウエハー乾燥時に低温部分ができると、接着剤のように付着するスジや粒子...

リソグラフィー装置では、わずか0.5度の温度変動でも、重要な寸法が狂ってしまい、大量のウェーハが廃棄されることになります。熱管理は、交渉の対象ではありません。私たちは、ウェーハ処理時の温度を正確に制御するために、この赤外線ランプソケットを開発しました。これにより、すべてのウェーハにおいて、所定の温...

ファブフロアでは、ソフトベイクの温度が1℃ずれるだけで、フォトレジストのプロファイルに変化が生じる。ハードベイクをわずかに高温で実行すると、現像後にスカミングが発生する。パワーデバイス用ウェハは大判ダイと厳格な熱予算を持つため、温度の不均一性はエッジビード、CDコントロールの乱れ、そして取り消しで...