ファブラボ用高温炉

Fabフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく、熱予算である。ソフトベークやハードベークの温度が2℃ずれると、クリティカルディメンションの制御が崩れ、リソグラフィ欠陥が連鎖的に発生する。我々は赤外線加熱を核に設計した高温ファブラボ用炉を構築し、サブミリメートル単位の熱均一性を実現している...