汚染を防ぎながらグローブボックスを加熱する方法
クラス100のクリーンルームや密閉型のグローブボックスで作業している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。加熱を行うには、単にヒーターを接続するだけでは不十分です。何かがガス化したり、剥がれ落ちたりして、微細な粒子が製造工程に混入してしまっては困ります。たった一つの粒子でも、その日の作業は台無しになってしまいます。
そこで、私たちは赤外線エレメントとして高純度の合成石英を使用しています。これにより、金属による汚染を完全に防ぐことができます。
純度の重要性
一般的な石英には微量の不純物が含まれています。高温になると、これらの不純物がガスに変わってしまいます。これは望ましくありません。
私たちは、このような問題を防ぐために、特殊な融合石英構造を使用しています。これにより、ランプが加熱されたり冷却されたりする際に微細な粒子が発生することがありません。医薬品や半導体用ウェハーを扱う場合、真に清潔な環境を維持するには、これが唯一の方法です。
適切な設定の仕方
私たちは、真空環境や不活性ガス環境を崩すことなく、大量の熱を扱えるように設計しています。短波または中波の出力が必要な場合でも、重要なのはシール性です。専用の電極や高品質のシール材を使用することで、接続部での漏れを心配する必要がありません。
注意点としては、小さな空間に多くのワット数を押し込むと、石英に過度な負荷がかかります。高ワット数のランプを使う場合は、周囲の敏感な電子機器から熱が逃げるように、十分な換気が必要です。そうしないと、コントローラーが壊れてしまいます。
取り付けと接続
これらは、既存の赤外線アレイの代替品として設計されているので、装置全体を再構築する必要はありません。配線を簡単にするために、さまざまなコネクタオプションも用意されています。
これらの装置は非常に高温になるため、必ず金メッキ済みまたは耐高温合金製の接点を使用することをお勧めします。これにより、端子部分での酸化を防ぐことができます。
恐ろしいことに、接触不良によってアークが発生し、それによって粒子が生成されます。クラス100の環境では、一度アークが発生すると、一括りのウェハーがダメになってしまいます。本当に最悪の状況です。電圧の規格を守れば、フィラメントは長期間使用できます。