ウェーハ用高精度IRセンサー

無駄なエネルギーの浪費を止めよう：半導体製造装置におけるIR光の効率的な利用法 一般的な赤外線ランプは、どこにでも熱を放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散らばってしまうのです。 ウェーハ処理室で作業を行う際、これは大きな問題です。ウェーハを加熱しようとしても、そのエネルギーの多くが目...