なぜスマートファブでは抵抗加熱に代わって赤外線加熱が使われるのか？ スマートファブを構築しようとしている方なら、従来の抵抗加熱器が実際には障害となっていることに気づいているでしょう。それらは使いにくく、非効率的です。私たちは高効率な赤外線加熱システムを採用しています。なぜなら、デジタル制御と相性が良いからです。非接触であり、精度も高く、現在の作業方式にもぴったり合います。
「熱的インピーダンス」の問題点
従来の加熱器の問題点は、反応が遅いことです。加熱するのに時間がかかり、冷却するのにもさらに時間が必要です。データ駆動型の生産が求められる今、このような遅れは大きな問題です。 赤外線加熱ならそういう問題はありません。出力をリアルタイムで調整できます。PLCがセンサーのデータを読み取り、即座に加熱を調整します。待つ必要はありません。また、加熱エリアのサイズも小さくなるため、無駄なエネルギーの消費も減ります。
必要なデータを得ることができる
デジタル化というのは、実際には制御の別名に過ぎません。赤外線加熱システムを導入すれば、ウェーハ表面での熱の分布を正確に把握できます。 各ウェーハで消費されるエネルギーも追跡できます。その情報は直接MESに送信されます。これにより、熱的な問題を早期に発見し、ロット全体を廃棄することを避けることができます。
技術的な課題（工学的な現実）
ただ単に接続すれば済むわけではありません。 高密度の赤外線アレイは高速ですが、多くの電力を必要とします。古い電源装置にそのまま接続してもうまくいきません。PWMコントローラーの高速な切り替えに対応できる電源装置が必要です。 また、冷却にも注意が必要です。もしシステムの容量が反射される放射熱に対応していなければ、その熱が電子機器に影響を与え、状況が悪化します。 結局のところ、重要なのは物理法則です。より速い応答速度、より少ない無駄、そしてデジタルツールとの直接的な連携。それが、次世代のウェーハ処理において赤外線加熱が選ばれる理由です。