汚染を防ぎながらグローブボックスを加熱する方法 クラス100のクリーンルームや密閉型のグローブボックスで作業している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。加熱を行うには、単にヒーターを接続するだけでは不十分です。何かがガス化したり、剥がれ落ちたりして、微細な粒子が製造工程に混入してしまっては困りま...

はじめに 早速本題に入りましょう。私たちがこの屋外用赤外線ヒーターを開発したのは、冬の厳しい寒さがどれほど事業に悪影響を与えるかをよく知っているからです。寒くて人気のないテラス、収益の喪失……本当に腹立たしいことです。 そこで、既存の装置と差し替え可能なヒーターを作りました。つまり、凍りついたテラ...

300mmラインでは、わずか数度の温度変動でも、その影響でクリティカルディメンションの管理が困難になってしまいます。したがって、ヒーターは常に清潔を保ち、何度繰り返しても一定の温度を維持する必要があります。 実際に重要なのは何か 私たちは、ガス放出や金属汚染をできるだけ抑えるために、高純度の石英を...

製造現場においては、歩留まりはほんのわずかな違いで決まってきます。焼成温度が変動すると、線幅にばらつきが生じます。酸化処理中に冷却部分ができてしまうと、ゲートオキシドの特性が不安定になります。私たちは、こうした問題を解決するために、ウェーハの酸化処理用ヒーターを特別に設計しました。なぜなら、重要な...