省エネ型ウェーハヒーター

なぜスマートファブでは抵抗加熱に代わって赤外線加熱が使われるのか？ スマートファブを構築しようとしている方なら、従来の抵抗加熱器が実際には障害となっていることに気づいているでしょう。それらは使いにくく、非効率的です。私たちは高効率な赤外線加熱システムを採用しています。なぜなら、デジタル制御と相性が...