爆発を防ぐために：ファブ内でのIR乾燥装置の利用 もし、ファブ内でウェーハや基板を乾燥させているのであれば、その手間はよくわかるでしょう。一般的には、言ってみれば非常に燃焼しやすい汚染物質を取り除く必要があります。このような環境では、通常のIRランプは単なる工具ではなく、むしろ危険な存在です。わず...

MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際は、まるで「センサーを壊さないようにしなければならない」という高リスクなゲームをしているようなものです。水分を取り除く必要がありますが、同時に何の汚れも残してはいけません。また、ウェーハに過度な機械的ストレスをかけて...