クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、汚染という問題がどれほど深刻かはご存知でしょう。わずかな異物や、加熱要素から発生するガスでも、全体の製品が台無しになってしまいます。
一般的な加熱ランプでは、高い温度に達するとすぐに破損したり、揮発性有機化合物を放出したりします。これは大きな問題です。
そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しています。
石英が重要な理由
実は、私たちが使用しているのは、高い出力でも金属イオンの移動を防げるほど純度の高い融解シリカです。この素材は、熱的ストレスによっても分解したり「煙が出たり」することはありません。つまり、純粋な熱だけが得られます。空気中の粒子も、不純物も、基板の損傷もありません。単純に効果的なのです。
より多くのパワー、より小さなサイズ
この石英は高温に耐えられるため、真空度やクリーンルームの性能を損なう心配なく、より高い出力を得ることができます。また、IRスペクトルを集中させることで、巨大なヒーターを使う必要がありません。これにより、床面積を節約できます。
ただし、注意点があります。石英は化学的には強いですが、振動には弱いのです。もし製造ラインで大きな振動がある場合は、必ず緩衝材を使ってください。そうしなければ、チューブが割れてしまい、それを掃除するのは大変な作業になります。
設置方法
私たちは、これらのランプを「そのまま交換可能な」形にしています。クリーンルームが停止している1分1秒も、利益の損失につながります。そのため、設置は簡単にしてあります。接続部分の漏れを防ぐために、シールはしっかりしています。また、配線時には、電気的な接触がしっかりしていることを確認してください。アークが発生すると、炭素沈着物ができてしまい、汚染度が急激に悪化してしまいます。
半導体ウェーハを加工する方々にとって、これらのランプは正確な温度上昇を実現してくれます。安定した熱源であり、基板に何の影響も与えません。
最後に、冷却ファンを確認してください。バランスが取れているか確認してください。もし揺れている場合、振動によってランプが早く壊れてしまいます。